石英材料具备优良的理化性质,是高端技术领域的必需关键材料。其拥有透光性好、低膨胀系数、耐高温、化学稳定性好、电绝缘性好等特性,主要应用在以下六大领域。


Semiconductor field
半导体领域
壁垒最高应用领域
应用于光刻端光掩模(IC、FPD)基板材料、刻蚀端设备腔体耗材(刻蚀环)等
APPLICATION AREA
石英材料具备优良的理化性质,是高端技术领域的必需关键材料。其拥有透光性好、低膨胀系数、耐高温、化学稳定性好、电绝缘性好等特性,主要应用在以下六大领域。


Semiconductor field
应用于光刻端光掩模(IC、FPD)基板材料、刻蚀端设备腔体耗材(刻蚀环)等


Strong laser field
应用于工业高功率激光(4万瓦及以上)、科研激光装置等,指标严格(金属杂质≤0.1ppm、羟基≤1ppm 等)。


Precision optics field
应用于光刻镜头、激光雷达等高精度元件,要求严苛(羟基≤5ppm、光学均匀性偏差≤5×10^-7),技术壁垒高。


Traditional optical field
覆盖望远镜、显微镜等设备元件,关注可见光透光率、机械强度等基础指标。







